二手 NIKON NSR S308F #293754616 待售

NIKON NSR S308F是一種高性能的生產級晶圓步進器。它旨在提供卓越的映像功能和更高的吞吐量。S308F配備了先進的下一代光學設備，其中包括一個非球面晶體壓縮透鏡，先進的衍射元件，一個非球面反射鏡，和一個超分辨率移位面罩創造者。該光學系統實現了接觸層和裝置結構所需的高密度精細圖樣的優越圖樣精度和精確度。步進器的專有自動聚焦算法自動調整光學單元，提供了整個晶圓的精確聚焦。該S308F的最大磁場尺寸為250毫米,景深可達3.5mu,可容納任何類型的光刻,包括ArF、KrF、DUV和在暴露的漂白質量中成像。該S308F是為方便操作而設計與強大的基於Windows的機器，提供晶圓成像的直觀控制。該工具與FabMaster中的數據輸入和編譯無縫集成，能夠存儲多達1000個晶圓圖像。它還包括掃描儀工具和與主要CAD系統的連接。為確保高水平的生產率,S308F包括若幹高級功能,包括可變現場縫合、在指定位置具有CD-SEM映射的實時成像設備、CD-SEM上的錯誤標記檢查以及改進的圖像校正設備,以提高圖像亮度、LER和CD均勻性。NSR S308F是一種多功能晶片步進器,專為高性能而設計,維護要求最低。其先進的光學資產和種類繁多的晶圓成像工具可以快速設置和可靠的各種圖樣成像。易於使用的基於Windows的模型以及與CAD和處理軟件的集成也有助於其高效率和可靠性。NIKON NSR S308F是生產級晶圓步進器應用的絕佳選擇。