二手 NIKON NSR S308F #293758734 待售

NIKON NSR S308F
製造商
NIKON
模型
NSR S308F
ID: 293758734
ArF Scanner.
NIKON NSR S308F Wafer Stepper是一種先進的投影儀,專為光刻而設計.這臺機器使用先進的光學器件在感光基板上創建圖樣。投影儀可以處理分辨率為180 nm的八英寸光掩模,使制造商能夠為各種行業制造微電子。NSR S308F Wafer Stepper非常精確高效,減少了生產元件所需的時間。機器使用混合步進設備,在圖樣投影到基板上時確保高均勻性和準確性,不需要手動調整。這提高了生產率,產生了質量更高的產品。此外,該機器還配備了差分幹涉對比度系統,可以檢測和補救環境不穩定性,例如來自相鄰設備的振動。NIKON NSR S308F Wafer Stepper使用石英光路以最小像差確保均勻曝光,保證質量控制。它還配備了專利的防反射塗層,以盡量減少光學單元失真。該機器還集成了第二代主動調平工具,可進一步減少邊緣錯誤。此外,自動對焦自動跟蹤資產可確保將陣列投影到與掩碼模板完全相同的位置,並且自動遮罩縮放模型允許制造商從掩碼中完美復制陣列,從而減少錯誤對齊的風險。該機還提供了廣泛的安全功能。機器外殼隱藏光學元件,以防止任何雜光幹擾生產過程。它配有緊急停止按鈕,必要時可立即停止生產,所有電氣部件分別存放在封閉的空間內,以確保安全。機器專有的吹氣設備輕輕地從光路中清除灰塵,其可選的清潔室模式旨在減少灰塵汙染。總體而言,NSR S308F Wafer Stepper是尋求高生產率的制造商的理想選擇。該機具有先進的光學性能和精密控制能力,能夠以最少的浪費產生高精度和均勻的圖樣。此外,其廣泛的安全特性確保了可靠的操作。
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