二手 NIKON NSR S308F #293776350 待售

NIKON NSR S308F晶片步進器是為先進的光刻應用而設計的最先進的曝光工具。它是一個高度精確可靠的平臺，在極小的操作員幹預下提供卓越的重復性和精確度。該機具有獨特的KrF （氟化Krypton Fluoride）和ArF （Argon Fluoride）脈沖準分子激光器，波長分別為248nm和193nm。5軸對齊器配有12介面鏡設備，提供亞微米配準和叠加性能。NSR S308F結合了6英寸基板加載站和8英寸本機或混合掩模級以及高速自動對焦系統。它還配備了NIKON Digital Super Resolution （DSR）技術，用於精確的圖像處理和精確的叠加配準。這項先進技術可提供355mm的最大曝光場大小。晶圓步進器采用高分辨率成像單元，具有兩個可選擇的成像方向，能夠達到25納米的精度。成像機搭配DSR工具，提供比傳統成像系統更精細解析度的校正影像。對於精確的無缺陷暴露，NIKON NSR S308F帶有先進的空氣軸承高度動態基板級。這一獨特的特點允許精確的基板對準和出色的均勻性通過低振動，L形設計。此外,晶圓步進器還可以配備完全自動化的資產,包括提供無錯誤過程控制和實時缺陷檢測的IM-net模型模塊。它還利用NIKON Smart Manager軟件提供自動配方調整和高級用戶友好操作。總之,NSR S308F是一種高性能的晶片步進器,具有準確可靠的性能.作為光刻應用的一項重要技術進步，該機具有卓越的性能、最大的曝光場尺寸以及改進的缺陷檢測和處理控制。