二手 NIKON NSR S308F #293817909 待售

NIKON NSR S308F
製造商
NIKON
模型
NSR S308F
ID: 293817909
ArF Scanner Numerical Aperture (NA): 0.92 Resolution: 70 nm DCO:  ≤8.
NIKON NSR S308F是一種晶圓步進器,專為高吞吐量和生產級性能而設計,具有多種高級功能和選項可供選擇。這種步進器利用經過現場驗證的8英寸鏡頭,提供最大的光學性能。NSR S308F還配備了先進的UV照明設備,能夠提供多達25個mW/cm2,以及高速自動對焦,以便快速準確對準。該晶片步進器通過利用復雜的機械光學設計來實現每個應用程序的最佳圖像質量,從而減少零件之間的變化。它還具有離子束銑削子系統,這是一種高效、精確的幹燥蝕刻方法,用於保護暴露的表面。高級NIKON NSR S308F還設計用於優化進一步的現場吞吐量。憑借其強大的基於PC的用戶界面,用戶可以快速產生結果,並確信他們能夠滿足所有所需的要求。此外,該系統還采用激光鉆孔填充工藝進行設計,該工藝旨在高度控制鉆孔的表面粗糙度、角角和深度。此外,NSR S308F還配備了高級設計,消除了與其他光學成像系統相關的繁瑣的臨時調整。它還簡化了維護,采用了先進的HotCathode離子束槍控制功能,為用戶提供了精確控制圖像曝光的手段。此外,NIKON NSR S308F利用掃描模式和無掃描模式來實現其最大晶圓吞吐量。該單元可用於對齊和掃描多種多種晶片格式與單次拍攝的冷凝器光束,以及無掃描步進/掃描的高長寬比模式。此外,獨特的收縮梁設計進一步提高了機器的高效性能,創建了更淺、更均勻的邊框壁,從而降低了陣列的復雜性。綜上所述,NSR S308F晶片步進器是生產級應用的理想選擇,它結合了高速自動對焦、精密的UV照明、離子束銑削子系統和激光鉆孔填充工藝等先進特性,提供了最高的直通控制和質量控制。
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