二手 NIKON NSR S308F #293821681 待售

NIKON NSR S308F是一種晶圓步進器，設計用於半導體制造行業的高精度光刻應用。它配備了先進的光學設備，可以在一次曝光的情況下在單個晶片上打印多層。步進器可在所有層中提供精確控制的圖像質量,包括高精度制造的精細陣列和復雜的層叠加。NSR S308F是使用NIKON專有的列內源掃描系統（ICSS）構建的,在光刻過程中具有最高精度。ICSS使用專門的柱源來霧化光，並最大化其均勻性和準確性。這樣可以確保在具有各種圖像類型的晶片上創建高精度、高分辨率的結構。步進器配備了高速晶片級，可以在X-Y軸上移動到100毫米/秒，在θ軸上移動20度/秒，用於曝光和晶片處理速度。該級還具有先進的振動控制單元,可將C2C max降至700 nm,以實現卓越的圖像處理。NIKON NSR S308F還包括一個內置的鏡面對準機，允許更好的精度在光刻。該工具監視單個鏡像的狀態和光學資產的整體對齊方式。該模型還提供了激光光束的自動調整,以實現光學器件的最佳對準,並將失準誤差從3 μ m降低到可接受的0.1 μ m。此外,步進器還具有Stiff Frame結構,可防止圖像在晶片上晃動。框架還支持快速散熱,從而減少整體光學像差並改善對比度。這樣可以縮短步進器的整體弧度時間並提高生產效率。總體而言，NSR S308F是為半導體制造行業的光刻設計的高精度晶圓步進器。它配備了先進的光學設備，並使用ICSS和內置鏡像對準設備保持精確的圖像質量。此外，它還具有高速晶片級和剛架結構，以提高生產效率。