二手 NIKON NSR S308F #9293213 待售
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NIKON NSR S308F是一種高端晶圓步進器,用於大批量生產集成電路(IC)、內存芯片等各種組件等先進半導體器件。它具有非常小巧和輕巧的車身設計,非常適合以超高圖像質量直接生產基板。它是超高分辨率光刻專用的專業工具,提供創新、強大和可靠的性能。NSR S308F配備了先進的光學設備,配備了最先進的光學組件,可在整個領域提供納米級分辨率。NIKON NSR采用的光學區域成像(OZI)系統S308F進一步提高步進器可實現的分辨率。它具有快速可靠的掃描移位速度,能夠產生高達1 um的線性和0.5 um的平方模式。NSR S308F的5步放大單元可輕松地在大小場之間切換,並具有廣泛的曝光放大範圍。NIKON NSR S308F提供快速、靈活和高級的控制功能,如實時光學掃描控制、多重曝光算法、晶圓失真校正和Auto Focus。利用機內自動對準特性實現了精確的叠加精度。NSR S308F同樣具有重型對齊能力,其大型晶圓支撐平面設計符合共同的平坦度要求。它配備了各種材料的光束成形板和吸收器,為各種光學工具參數的輕松優化提供了一個靈活的平臺。獨特的空氣淋浴資產能夠處理顆粒尺寸高達0.7微米的清潔環境敏感基板。此外,NIKON NSR S308F還提供高速生產,每小時高達2500晶圓的高吞吐量。它還具有快速、精確的自動對焦功能,以高放大倍率的視角確保1nm以上的最佳圖像質量。大型平板顯示器和易於訪問的按鈕布局允許簡單直觀的操作。NSR S308F是一種先進而可靠的光刻模型,它的尖端技術設計能夠有效地提高效率和產量。
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