二手 NIKON NSR S308F #9304337 待售

NIKON NSR S308F步進器是一種先進的半導體光刻設備，用於制造集成電路。步進器具有三步減速光學元件,這是一個大的場板,可容納直徑不超過10英寸的基板,並且包括專有的高級掃描系統,用於高速、高精度的陣列。該設備的掃描字段大小為8 x 10英寸,能夠以正負圖像模式成像。NSR S308F使用範圍廣泛的波長範圍從248nm到35nm。步進器與多種光源兼容，包括i-line、氟化k（KrF）和第二代ArF。該機還具有許多先進的成像功能，如低振動空氣軸承，具有出色的吞吐量和確保穩定性能的晶圓傳輸工具。該資產配備了多種先進的自動化功能，可輕松高效地處理基板。其中包括晶圓對準模型、帶有用於快速基板加載的夾緊區的真空卡盤以及掃描級移位設備。自動標線加載/卸載功能允許快速轉換模式和精確的模式,從而提供卓越的吞吐量和高產率。高性能步進器以其5nm的配準精度提供精確的叠加配準和精確的邊緣放置。此外，該系統還配備了多項功能以確保條件穩定，包括自動對焦控制單元、EFG（電子力透鏡）機，以及將溫度精度保持在+/-0.5攝氏度以內的先進加熱器控制工具。最後，該資產的設計是為了提供環境友好的操作，低功耗和低噪音和熱量的排放。綜上所述，NIKON NSR S308F步進器是實現半導體光刻高產量、高精度的絕佳選擇。它能夠處理各種基板，並具有一系列自動化功能，以高效處理。NSR S308F步進器具有5納米的配準精度和環保設計,確保為任何生產過程帶來精度和質量。