二手 NIKON NSR S322F #293665226 待售

NIKON NSR S322F是一種革命性的晶圓步進器，為半導體制造提供了廣泛的功能。這種步進和重復對準設備是為高分辨率晶片步進器應用而設計的，是第一種專門針對自動晶片光刻要求而設計的步進器。它利用NIKON 「i」系列光學器件,提供出色的場平面度、表面粗糙度和高分辨率成像功能。NSR S322F具有直徑可達200毫米的晶圓尺寸,這是目前晶圓制造的最大直徑。它還具有4英寸視覺系統,具有高級功能,包括完整的圖像捕捉和縫合、增強模式和相位填充功能。此外,內置自動缺陷審查（ADR）單元允許在晶片出廠前檢測和糾正晶片上的任何缺陷或不一致之處。NIKON NSR S322F也具有很高的幾何精度，對準精度為0.5微米。這意味著它能夠產生大的、形狀精確的元件，而不會產生任何失真或失真相關的影響。此外,這種步進器使用8英寸或12英寸的掩模,每小時可提供高達900個晶圓的吞吐量,並提供高達0.5微米的孔徑,光束大小為0.4微米。最後,NSR S322F采用節能光源設計,在運行過程中可實現更高的穩定性和節能。此步進器還提供出色的溫度控制,以實現最佳分辨率,即使在高溫條件下,用戶也可以輕松調整機器的焦點。此外,它還包括一個集中式控制工具,可輕松訪問預期的步進參數。這樣可以確保以最有效的方式處理晶片,從而提供最佳性能和產品質量。