二手 NIKON NSR S322F #293665735 待售

NIKON NSR S322F是一種高性能的半自動晶片步進器，用於半導體工業的光刻應用。這是一個精密的光學成像工具，具有先進的精度和對準能力。NSR S322F有一個單發的光學設備，這使它能夠減少曝光時間和在整個晶圓上出現的不對準。它利用高級幾何校正功能在晶圓上對齊陣列,以確保形成精確的陣列。步進器配備了全孔徑圖像場測量和調節系統，用於光學單元的精確對準和調平。這樣可以快速反饋和調整,以確保整個晶片的曝光準確性。圖像場測量機還可以對步進器的光學工具進行動態調平，以確保一致準確的性能。NIKON NSR S322F還具有堅固可靠的XY平臺和高精度光學空氣軸承資產,用於在曝光和制圖過程中固定晶片。這樣可以減少任何錯位,並導致高精度光刻。步進器還配備了超高速實時焦點檢測模型，該模型使用相移算法快速測量整個芯片上的焦點。此設備允許在曝光前快速反饋和調整焦點,以減少任何未對準錯誤。NSR S322F還具有一個多位置對齊系統，該系統可以在晶圓上移動模式坐標，從而在整個芯片上實現精確對齊。步進器還有一個復合成像單元，將成像和光子能量傳遞結合在一起，形成橫跨晶圓的圖樣。此外，NIKON NSR S322F支持多種晶圓格式，配備備件，並擁有用戶友好的操作機器。此工具允許自動調整和優化過程參數,以降低故障率、最大限度地提高產量和提高吞吐量。總之，NSR S322F是一種高精度、半自動的晶片步進器，旨在提供一致、準確的光刻性能。它配備了先進的成像技術和一系列功能，以確保精確對準、動態聚焦和低級別的誤差。步進器還具有易於使用的接口，並且與各種各樣的晶圓格式兼容。