二手 NIKON NSR S322F #293671643 待售

製造商
NIKON
模型
NSR S322F
ID: 293671643
Scanner Resolution: ≦ 65 nm Exposure light source: ArF Excimer laser (193 nm Wavelength) Reduction ratio: 1:4 Maximum exposure field: 26 mm x 33 mm Overlay: Single Machine Overlay (SMO): ≦2 nm Mix and Match Overlay (MMO): ≦5 nm Throughput: ≧ 230 Wafers / Hour (96 Shots).
NIKON NSR S322F是下一代晶圓步進器,旨在提供晶圓尺度的高分辨率成像。步進器的設計可容納48英寸直徑的晶圓,這是大批量生產的行業標準。NSR S322F具有先進的光學和成像功能,可提供納米級分辨率以確保準確性和可重復性。該設備還能夠將晶片索引到不同的高度,以便於訪問和對齊。NIKON NSR S322F配備了提供實時反饋和數字控制的高級CCD陣列攝像頭,使用戶可以為任何應用快速輕松地配置步進器。該系統還有一個可配置的圖像處理單元,使用戶能夠在掃描和成像模式下優化圖像質量。此功能還允許用戶自定義曝光時間、鏡頭光圈、聚焦等成像參數。作為CCD陣列相機的產物,NSR S322F包括一臺自動對焦機,無論掃描晶圓的高度和曝光時間如何,它都能幫助確保一致的圖像質量。NIKON NSR S322F還具有現場成像工具,允許用戶在一個周期內掃描大型零件。資產的多重曝光功能允許用戶在不同曝光時掃描晶圓的不同部分,從而獲得更高分辨率的圖像。通過利用此功能,工程師能夠快速處理包含多個組件的晶片。NSR S322F還有一個光強度控制器,以幫助確保一致的照明條件。這樣可以確保成像的準確性,而不管一天中的時間如何。此外,步進器還與各種圖像處理和軟件工具兼容,例如圖像同步和圖像掩蔽。這些工具旨在提高晶圓處理應用程序的生產率和效率。總體而言,NIKON NSR S322F是最先進的晶圓步進器,為工業成像提供了理想的平臺。其先進的成像能力、現場成像模型、CCD陣列攝像頭、自動對焦設備和光強度控制器,以緊湊、經濟實惠的包裝提供無與倫比的精度和成像質量。
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