二手 NIKON NSR S322F #293817907 待售

NIKON NSR S322F是使用NIKON專有成像技術的下一代晶圓步進器。該設備的設計目的是精確控制應用光刻技術的晶片每一層的暴露。這項技術廣泛用於集成電路（IC）的制造，用於通信、汽車和其他消費電子等多種應用。NSR S322F在工藝精度、精密操作和降低環境負載等方面取得了重大進展,為設備制造商提供了極致的性能。該系統采用最新的鏡頭內自動化和成像技術，如高分辨率全畫幅成像，以確保最小線寬和間距精度的卓越圖像保真度。步進器還提供了廣泛的曝光參數,使用戶能夠為其特定進程自定義設備。自掃描和熱控制機有助於確保對準級和掃描鏡的運動高度準確可靠。NIKON NSR S322F專為臨界尺寸（CD）在0.3至1.0 µm之間的IC而設計，最大曝光場尺寸為22 mm。它能夠處理尺寸小至1 µm的目標，具有0.025 µm的高精度計量能力，具有內/外掃描可重復性。此外,該工具具有很高的吞吐量,可實現極快的周轉,每小時最多可處理25個晶圓。此外,它的緊湊設計允許對其進行配置,以便輕松集成到現有系統和工作區中。NSR S322F具有卓越的環境保護功能。其堅固的結構保護它免受可能來自其環境的顆粒的影響，而其氣密的室內設計則在整個操作過程中保持清潔。資產包括一個監測模型，跟蹤工藝室內的化學含量，減少維護要求和成本。該設備還確保降低氧氣水平的環境，以確保優越的基板附著力。最後，NIKON NSR S322F配備了可靠的檢測系統，可以檢測過程中的任何異常。此設備可幫助設備以最小的手動幹預來保持其性能。此外，機器可以通過及早識別不需要的事件來防止汙染和缺陷。因此,該工具有助於確保高吞吐量和更短的總周期時間。