二手 NIKON NSR S609B #293817904 待售
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ID: 293817904
ArF Scanner
Numerical Aperture (NA): 1.07
Resolution: 60 nm
Throughput (WPH): 130.
NIKON NSR S609B是一種晶圓步進器,用於廣泛的光刻工藝。它設計用於在半導體晶片上精確、精確地制作圖樣。NSR S609B利用先進的高精度光學和照明技術,加上快速可靠的硬件和軟件來執行精確和精確的模式。它能夠在晶片上產生極高分辨率的圖像。NIKON NSR S609B是一種光源設備。它采用具有氣體處置配置的大功率KrF準分子激光光源,產生聚焦深度較大的均勻光束。光源還采用多光束成形、光學穩定和曝光尺寸等技術,以增加吞吐量和減少浪費。NSR S609B還具有許多其他高級硬件特性。它配備了一個剛性、輕巧的龍門,用於快速準確地放置光學器件,並配有精細的驅動步進電機。該系統還包括一個高度敏感的曝光位置檢測單元、一臺先進的自動對焦機以及廣泛的曝光元件和測量系統。該工具由Nikon5200軟件PDW控制,PDW是控制晶圓步進器的一種易於使用和可靠的接口。它能夠控制多個曝光參數,包括焦點、劑量、波長、曝光時間、曝光劑量和快門角度。此外,它還允許控制曝光元素以及高級維護和曝光後分析工具。NIKON NSR S609B旨在滿足當今不斷增長的半導體行業的需求。它具有廣泛的光刻工藝,包括低k1工藝和雙曝光工藝,同時仍提供最高精度和精確度。其高效可靠的運行,加上先進的能力,使其成為任何參與制造半導體晶片的人的理想選擇。
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