二手 NIKON NSR S609B #9223197 待售

NIKON NSR S609B是為高級光刻應用而設計的精密模式識別微步進式曝光設備。作為具有近場光源的浸入式成像系統，NSR S609B融合了廣泛的先進功能，使其適合集成電路、平板顯示器等前沿技術領域的先進應用。NIKON NSR S609B提供了一個先進的空間對齊單元，能夠快速、精確地檢測全局或局部對齊誤差。該機經過優化，能夠準確地進行圖像配準，根據抗蝕層上的背面或正面閘門對準標記對自身進行定向。該工具還使用了一種專有的光學傳感技術來檢測多個步進對準標記，以獲得更精確的模式選擇性。NSR S609B具有極快的曝光速度,非常適合高速光刻應用。該資產每秒最多可提供4次曝光,以滿足集成電路和平板顯示器最苛刻的吞吐量要求。該模型還提供了高度聚焦深度和易於與其他系統集成的高級成像解決方案。先進的成像設備能夠在擴展的場深度上精確聚焦和對準圖層,並且樣品對樣品的聚焦最小。NIKON NSR S609B配備6英寸顯微鏡端口，便於與現有實驗室設置集成。NSR S609B還能夠實現無與倫比的分辨率和模式特征大小控制。這使得它成為在集成電路和顯示基板領域滿足光刻應用要求的理想系統。該單元具有產生低至0.6 µm特征尺寸的能力，可以處理25 nm的最小特征尺寸和50 nm的最小線距。NIKON NSR S609B采用高精度機械配準和先進的數控技術設計.這有助於實現高度精確和可重復的陣列放置和叠加精度。由於其低主軸電平和高分辨率步進電機脈沖控制,無論形狀或大小如何,機器都能呈現穩定且可重復的圖樣成像性能。NSR S609B是為優化可用性和操作方便而設計的。該工具與STEP-NC編程和遠程控制完全兼容，使其能夠集成到各種制造環境中。再者，該機配備了24 V光源，可以作為機上設備使用，並附帶數字用戶界面，以簡化資產利用，減少機器交互時間。綜上所述，NIKON NSR S609B是為高性能成像和快速發展的技術應用而設計的先進晶圓步進模型。它結合了速度、準確性和可用性，確保它能夠滿足最苛刻的光刻需求。