二手 NIKON NSR S610C #293633334 待售

NIKON NSR S610C是一種晶圓步進器,專為光刻應用而設計,需要精確、精確地曝光100納米或以下的特征。是一款采用高放大倍率、多層透鏡、激光幹涉儀自動對焦的6軸設備，以及獨特的Quad Air Bearing系統，以確保高精度和可重復生產高質量半導體芯片。NSR S610C使用高功率照明和超高速圖像捕獲功能,在廣泛的曝光時間內提供可重復和準確的輸出。該單元還提供了卓越的透焦圖像掃描,以最大限度地提高圖像精度並最大限度地減少汙點錯誤。它還配備了完整的模式識別和缺陷檢測功能。NIKON NSR S610C具有1至90皮秒的曝光速度，相當於每秒10,000次曝光。它能夠將具有高折射率表面的抗蝕劑暴露於具有高反射率界面的抗蝕劑中。該機還支持先進的計量工具，如先進的散射法，用於高精度的模式保真度檢查和過程控制。NSR S610C配備了一套過程監控功能，包括實時航空圖像檢查、直接晶圓審查、模糊測量和邊緣檢測。該工具還具有直觀的圖形用戶界面,為用戶提供了一個熟悉且易於使用的平臺來控制其流程。NIKON NSR S610C提供高級定制選項,包括各種操作掩碼和預設,以及可選的實時流程分析和監控。資產可配置多種可互換光學器件，如廣角透鏡和流體透鏡掃描系統，以及專用透鏡的組合。它還集成了遠程操作功能，如遠程聚焦和曝光調整，以及遠程監控和調整曝光參數。NSR S610C是光刻應用的理想晶片步進器,需要高度可重復和精確地曝光低至100納米或更小的特性。其可靠的性能、先進的定制功能和直觀的圖形用戶界面使其成為任何光刻實驗室或生產線的寶貴資產。