二手 NIKON NSR S610C #293817905 待售
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ID: 293817905
ArF Immersion scanner
Numerical Aperture (NA): 1.3
Resolution: 50 nm
Throughput (WPH): 130.
NIKON NSR S610C是一種高性能、全自動、頂級的晶圓步進器。利用專有工藝,它實現了非常精確的高密度精細圖案的生產,達到了傳統光刻系統無法比擬的程度。NSR S610C配備了世界上功能最強大的圖像傳輸設備,具有3-D多層、多值曝光功能,即使是最復雜的圖樣也能實現高精度生產。較短的晶圓傳輸時間不僅縮短了生產時間,還使得能夠在單個周期內創建高度集成的組件。該系統還支持各種尺寸和材料的基板,使其成為高密度、高保真生產的理想平臺。NIKON NSR S610C提供出色的成像能力,包括產生平滑、無鋸齒狀圖樣的能力,以及均勻的曝光分布。此外,精密的晶圓對準單元允許對基板進行精確對準,減少了錯位的可能性,並確保了對所需圖樣設計的良好遵守。一個集成到NSR中的優秀調平器S610C即使是晶圓表面最微小的缺陷,例如汙染區域或損壞可能造成的外部顆粒,也能檢測到這些缺陷。這樣可以提高生產精度,並有助於防止任何不需要的顏色飽和度或由外來材料引起的線條。NIKON NSR S610C提供卓越的光學性能,以滿足即使是最苛刻的項目的需求。可自定義的頂級成像子系統可提供最高精度和靈活性,而全自動加載端口可用於將晶片快速輕松地傳輸到機器中進行生產。最後,NSR S610C配備了直觀、易於使用的控制和監控系統。專用軟件在配置步進器和監控其進度方面提供了高度的靈活性和控制,使其成為生產中最重要的精度和速度的完美選擇。
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