二手 NIKON NSR S610C #9207261 待售

NIKON NSR S610C Stepper是一種高端晶圓步進器,它采用了真正集成的光刻方法。這個步進器採用快速的兩階段成像系統，允許使用比傳統晶圓步進器更短的曝光時間。NSR S610C Stepper利用高性能的4英寸投影鏡頭最大限度地減少失真和減少像差，確保高質量的輸出。此步進器還提供了一個獨特的切割功能,允許使用各種自定義進程。NIKON NSR S610C Stepper具有多場直接對準傳感器,可提供有關晶圓方向和位置的具體信息。此步進器還提供了廣泛的曝光劑量計算模式選項,用戶可以輕松調整輸出質量。NSR S610C Stepper采用了先進的機電一體化設計,可實現快速、精確的對齊,使用戶可以縮短周期時間。NIKON NSR S610C Stepper擁有集成的聚焦伺服控制模塊,可提供出色的可重復性,確保整個晶圓的聚焦深度得到精確控制。為了確保最小化顆粒的引入，NSR S610C Stepper采用了先進的臭氧和顆粒控制系統。此步進器提供27°C-45°C的不同水溫,以確保晶圓加工的最佳條件。NIKON NSR S610C Stepper還提供了一部分（PBP）工藝控制,具有廣泛的作業參數,每批晶片都可以存儲這些參數。NSR S610C Stepper集成了高精度SU-8激光編碼的電阻率和遙感技術,以便更輕松地控制掩蔽過程。該步進器采用環境可持續設計，采用全屏蔽等離子體排氣系統，在晶圓加工過程中方便使用有害材料。NIKON NSR S610C Stepper通過其眾多特定於應用程序的自定義模塊提供模塊化功能。這種步進技術使用戶能夠處理多種材料和尺寸廣泛的基材，使他們能夠高效率地完成高端晶圓的生產要求。NSR S610C Stepper專為高精度、速度和質量而設計,使其成為光刻應用的頂級晶片步進器。