二手 NIKON NSR S620D #293817903 待售

NIKON NSR S620D是由NIKON設計制造的高分辨率、高精度晶圓步進器。這種步進器利用了步進掃描投影曝光技術，其中相幹光束通過一系列透鏡直到到達掩模。然後按逐步增量移動掩模,然後在晶片表面上進行曝光。該步進器具有高達0.0085 μ m的精細螺距設計，是晶圓步進器工業中最先進的技術。它采用了先進的NIKON超高分辨率鏡頭,以最大程度地減少像差和最大化均勻性,從而實現了4倍的減小能力和270mm的均勻場尺寸。NIKON NSR-S620D還具有高速掃描曝光區域和高性能掃描電子設備。掃描速度最大為12000毫米/秒,但中心部分（高分辨率區域）,可保持8000毫米/秒的恒定速度。與傳統系統相比,此功能使用戶能夠顯著縮短周期時間。NSR S620D包括一個高效率的晶圓對準設備，能夠在3軸上測量高達0.5 μ m，位移分辨率為0.25 μ m。Autofocus （AF）系統通過補償晶圓地形波動來確保連續聚焦。此步進器上的晶片卡盤是單元的重要部分。它是可清潔的，並提供-81 kPa的高真空水平，穩定度為+/-0.05 kPa。卡盤還具有0.3-0.7 MPa的均勻卡盤壓力。NSR-S620D還具有廣泛的接觸、劑量和接觸時間參數。這允許用戶為其暴露的對象選擇最合適的設置,同時確保步進器操作過程中的高控制和精度。此外，NIKON NSR S620D還配備了先進的光束管理能力，以提高曝光均勻性。它具有一臺帶有Z-shift控制器的自動對焦機，使用戶能夠立即將z-direction移動幾微米，以補償晶圓表面的不規則性。並利用有源消減控制器提高步進器投影曝光工具的圖像質量。NIKON NSR-S620D是一種高性能、高精度的晶圓步進器，旨在滿足半導體制造商最苛刻的需求。它提供了多種功能,使用戶能夠更快、更精確地生成精細的音高設計。