二手 NIKON NSR S620D #9198048 待售

NIKON NSR S620D系列晶片步進器是為半導體器件制造而設計的最先進的光學光刻設備。它采用了高度精確、高精度、基於激光的投影光學系統以及先進的硬件技術。這種晶片步進器確保了生產新一代高端半導體器件的精確可靠的光刻。NIKON NSR-S620D的特色是其高端光學單元和高級圖形用戶界面（GUI）。光學機器由兩個對比的光學子系統組成：低壓和高壓投影系統.低壓投影工具具有良好的掃描性能，而高壓投影工具適用於深層光刻過程。此外，光學投影鏡頭安裝在自動對焦導軌資產上，用於精確對準和成像。GUI為用戶提供了一個直觀便捷的平臺，可以設置不同的參數，輕松做出調整。晶圓步進器還配備了2微米成像對準精度。它具有內置的自動對齊功能,如精細對齊、離軸檢查（OAI）成像和基準標記匹配。此外,用戶可以自定義NSR S620D系列的設置以滿足自己的要求。最大掃描範圍為25 mm x 24 mm,最大分辨率可達16 nm,最大分辨率可達2英寸。這允許在高級IC設備的小特性上制造高密度模式。此外，晶片步進器與高性能的塗層系統和紡絲機完全兼容，使得創建復雜的分層電路成為可能。NSR-S620D還具有其他一些功能,使其非常適合高端IC生產。其低電磁幹擾（EMI）使得它適合敏感設備。它還利用高精度電機和光學器件確保精確定位和成像。此外，晶片步進器構造有耐用的元件，使其能夠承受長期使用。總而言之,NIKON NSR S620D是一種晶圓步進器,具有卓越的成像精度和性能。其高精度的光學、自動化的對準功能和寬廣的視野使其適合生產質量最高的尖端半導體器件。其卓越的設計和堅固的結構使其具有確保長期在任何實驗室或生產環境中使用所需的耐用性和可靠性。