二手 NIKON NSR S620D #9401370 待售

NIKON NSR S620D是由NIKON開發的高性能晶圓步進器，為半導體制造工藝提供卓越的精度和精確度。NIKON NSR-S620D采用先進的掃描技術和光學器件來實現性能和靈活性,這對於高端微芯片成像和蝕刻至關重要。NSR S620D是使用具有六軸級和傾斜處理能力的全自動設備設計的。該系統提供了處理各種晶圓尺寸的最大靈活性,並且可以處理多種晶圓安裝配置。NSR-S620D的設計旨在支持廣泛的曝光應用,包括光學光刻、光掩模曝光、蝕刻和瞬態等離子體曝光。NIKON NSR S620D具有堅固的定位單元,最大步進精度為2.5 μ m。NIKON的6軸級和傾斜能力NSR-S620D可以精確定位晶片並確保均勻的曝光水平。為了保持最高性能標準，NSR S620D在每個曝光過程中都配備了鏡頭和晶圓的三維自動對準。這臺光學定位機通過使用一系列相機和參考鏡實現了高度精度。它還利用NIKON先進的激光對準技術來保證高位置精度。NSR-S620D的高精度光學成像工具能夠在整個視野中提供高達0.5 μ米的分辨率。這種卓越的性能是通過整合NIKON專有成像光學器件和強大的光源實現的。NIKON NSR S620D還配備了掃描激光功率調節資產,以確保在所有曝光參數範圍內都具有最佳的均勻圖像。除了卓越的想象力外,NIKON NSR-S620D還可實現最高的效率和吞吐量。該設備每小時最多可支持12個晶片,涵蓋各種尺寸和功能。此外，NSR S620D還配備了內置幹式真空吸塵器和氮氣凈化模型，以確保清潔、無塵環境。總體而言,NSR-S620D是一種先進的晶片步進器,在高端微芯片成像和蝕刻過程中提供卓越的精度和精確度。NIKON NSR S620D提供了一個非常可靠和高效的生產過程,是尋求提高其吞吐量和提供卓越結果的半導體制造商的理想解決方案。