二手 NIKON NSR SF100 #132126 待售

NIKON NSR SF100是一種晶圓步進器，專為細微光刻而設計。步進器具有先進的對齊和優化功能,以確保最高質量的平版印刷結果。NIKON NSR-SF 100的雙致動器XY級設備允許高精度和可重復性的模式放置在晶圓。舞臺還采用了模具對準光學系統，配備了1 µm運動分辨率和± 2 wem對準精度。此外,步進器還具有自動對齊反饋單元,可實時準確檢測和校正邊緣放置誤差,從而確保獲得最高質量的光刻效果。NIKON SF100晶圓步進器利用先進的照明機器，支持廣泛的曝光條件，並以優異的曝光分辨率（E： R）提供高生產率。步進器還配備了高速非接觸晶片裝卸工具，允許快速完成晶片裝卸循環。NSR SF 100提供最大400毫米晶圓尺寸和每個晶圓最大36個曝光場。它與SEL Design Expert和SEL Framework軟件配合使用,為重叠區域校正和過程優化支持提供了一整套工具。通過改進的TIS（總成像資產）特性,NIKON NSR-SF 100晶圓步進器在先進的設備制造過程中提供了最高的光刻效果。NSR-SF100晶片步進器具有許多其他特性，使其成為亞微米光刻工藝的理想選擇。它包含了廣泛的能量控制模型和準確、低噪聲的能量掃描功能。此外，步進器還具有圖像格式支持、光學設備參數無限、運行速度高等特點，在不犧牲精度的前提下支持最高吞吐量。總體而言,NIKON NSR SF 100是一款先進的光刻步進器,為要求最苛刻的研究和制造應用提供卓越的性能和卓越的光刻可靠性。步進器的先進特性和高精度使其成為希望在亞微米光刻工藝中取得優異成績的公司的理想選擇。