二手 NIKON NSR SF110 #293655797 待售

NIKON NSR SF110是一種先進的晶圓步進器，旨在為當今的微光刻應用提供最佳性能。它旨在實現更高的吞吐量和更少的缺陷。NSR SF110是NIKON NSR步進器系列的旗艦產品，提供光刻技術的最新進展。NIKON NSR SF110提供了廣泛的特性和靈活性，使其適合於各種微光刻工藝。步進器配備了高度先進的高性能主曝光照明設備，優化數值孔徑（NA）為0.78。它還具有用於性能測量的高分辨率幹涉對比度系統和具有自動故障校正功能的故障檢測單元。NSR SF110的一個主要特點是它的兩級底座允許晶片級傾斜和旋轉，使其更容易對準曝光鏡頭。步進器還支持精細的級運動，提供晶圓的精確處理。NIKON NSR SF110還配備了超過30個內部參數的高效自動平衡，為每次晶圓曝光提供了最佳的設置條件。此外,它還配備了自動調色刻度機,用於調整曝光光強度,從而實現更高的曝光精度和更少的缺陷。NSR SF110由高性能計算機控制單元提供動力,並帶有液晶顯示器面板,操作方便。它具有較低的熱漂移和減振功能，可最大程度地減少振動引起的光學誤差。步進器還采用了曝光報告生成工具，為用戶提供了其流程的全面概述。NIKON NSR SF110晶片步進器結合了廣泛的高級特性，允許有效的晶片曝光和最少的人工幹預。其先進的特點、靈活性和優越的性能使其成為微光刻應用的絕佳選擇。