二手 NIKON NSR SF110 #293817935 待售

NIKON NSR SF110
製造商
NIKON
模型
NSR SF110
ID: 293817935
i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.52 Resolution: 350 nm DCO:  45 Throughput (WPH): 100~120.
NIKON NSR SF110 Wafer Stepper是一種高精度的高速曝光工具,旨在產生復雜微觀元件的卓越圖像。這款超精密儀器量身定制,可處理直徑達8英寸的晶片基板。它配備了一系列先進的功能,允許對半導體進行極高質量的成像和處理。NSR SF110由一系列高級元素組成,例如具有集成慣性導航設備(INS)的高度精確級和高級曝光光學元件。這些元件協同工作以確保卓越的成像精度,而不會影響晶片步進速度。此外,該系統還配備了一個高分辨率CCD攝像頭,能夠以高達4.5 μ米的亞微米分辨率拍攝圖像。NIKON NSR SF 110的高級級系統也提供了先進的對準和對準穩定性。集成的「冗余」對齊單元允許快速、精確的校正。這樣可以確保不會出現錯位,即使在成像機需要高速執行時也是如此。此外,NSR SF110能夠同時處理多達8個作業的曝光程序。這些程序使晶片步進器能夠管理跨多個視圖字段以及多個作業或束的掃描。所有這些功能使NIKON能夠生成高度詳細的圖像,即使在高吞吐量條件下也是如此。NIKON NSR SF110還包括增強安全感。它提供了數據日誌,確保了完整的隱私,並且它還具有一個高級加密工具,可防止未經授權的訪問。此外,該資產還具有可選的噴砂功能,可用於高級拋光。在生產速度方面,NSR SF110的可編程曝光時間高達十分之一秒,從而提高了吞吐量。它還能夠在一天內提供多達600次曝光。這種效率使得它非常適合大批量生產的情況。最後,NIKON NSR SF110是一個集成模型,提供了很大的靈活性。它與大多數現有的寬光系統兼容,並提供各種曝光選項。它可以處理各種晶圓直徑,為不同表面特性的半導體量身定制。此外,還可以根據任何特定的生產需要定制其功能。
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