二手 NIKON NSR SF110 #293821683 待售

NIKON NSR SF110是為大容量半導體生產而設計的先進晶圓步進設備。該系統由帶二極管激光照明器的47納米掃描儀供電，能夠產生直徑達200毫米的晶片。晶圓尺寸由單位的高精度、低速定位技術調節，使得產品質量最高。NSR SF110配備了1 µm或更高精度的自動叠加對齊機，同時還提供了0.1µm的超高分辨率。還包括高級晶片加載工具和高速晶片旋轉機構，以提高吞吐量。此外,該資產還具有晶片級位置監視器和工藝強度監視器,可實時監控晶片級和工藝條件。NIKON NSR SF110具有先進的流程控制,例如WiRED（無線更換電子設備）一種用於流程自動化和配方數據分析的通信接口。它還包含一個多功能的板載掃描儀處理器和控制器（SPC）以及一個功能強大的芯片對齊器（DA）,它提供了對圖案化晶片的可見性和分析。SPC提供高分辨率的數字處理、圖像管理和數據存儲能力，用於處理和分析晶圓。利用模式搜索和識別（PSR）算法快速分析和識別晶圓上的模式。NSR SF110還配備了電子標線對準模型（ERS），用於在曝光工具中使用標線之前對標線進行測量和對準。該設備的對準精度小於0.5µm。該單元還包括一個獨特的檢測系統,該系統能夠檢測晶片上的缺陷,並且可以在檢測到的任何缺陷超過指定限制時自動停止曝光序列。NIKON NSR SF110具有各種安全功能，如激光輻射的安全聯鎖、光路的防毒蓋和潛在危險區域的安全標簽警告。機器中還安裝了警報機，在可能出現問題時提醒操作員。NSR SF110是半導體工業的重要工具，為暴露晶圓提供高精度和嚴格的質量控制。