二手 NIKON NSR SF120 #293589139 待售

NIKON NSR SF120是一種用於微光刻工藝的高精度晶圓步進器。它是一種先進的設備，設計用於在矽和其他半導體基板上生產高質量的微結構。本機使用先進光學，光學領域廣。它擁有35mm的視野，是同級中最大的。光源為200毫米激光器，NIKON的這一產品在光學元件邊緣有塗層，以減少反射和耀斑。顯微鏡透鏡也被塗覆以提供樣品的清晰圖像。NIKON NSR-SF120配備了一個6軸電動級，能夠精確定位在基板上，分辨率為0.25 μ m。步進器有一個五軸氣流系統，以盡量減少環境振動，使其達到亞微米的對焦公差。NSR SF 120的設計可容納各種基材,能夠加工直徑達450mm的基材。其晶片處理程序能夠為基板提供安全的真空保持，並能實現精確的高速晶片處理。該設備的全面自動化確保了可靠和高效的性能。它具有內置的可編程電機控制器和用戶友好界面，可用於輸入和管理各種應用程序的步驟和配方。它還有一套移動和固定的機器人組件，可以完全控制步進器。NSR SF120還配備了自動對焦校準和對準機。此工具利用先進的線聚焦算法來測量多條線在基板表面上的邊緣焦點,然後根據需要使用此信息進行校正。NIKON NSR SF 120是一種功能強大且可靠的晶圓步進器，適合廣泛的微光刻應用。它符合人體工程學設計，非常適合大批量工業生產。