二手 NIKON NSR SF120 #293618791 待售

NIKON NSR SF120是一種晶圓步進器，用於半導體制造和芯片制造。它是一個對齊步進器，每小時處理多達200毫米晶圓。它結合了NIKON備受贊譽的兩軸精度和卓越的成像性能以及先進的對齊算法，以提高叠加精度。這種半導體步進器設計有先進的元件，以滿足當今最苛刻的晶圓制造環境的需求。它能夠掩碼與掩碼對齊,並具有用於單位置對齊的內置對齊功能。在低線性誤差和叠加誤差的情況下提供高吞吐量的生產穩定性.NIKON NSR-SF120使用具有3晶片陣列圖像捕獲系統的成像設備，以抗震方式安裝在可靠和穩定的腔室內。這個成像單元有一臺高NA照明機，具有獨特的NIKON光學設計，能夠捕捉高質量的特征成像而不會蒙版失真。它還使用專有軟件有效、準確地識別和對齊腔室內的部件。NSR SF 120優越的設計使得它能夠用於光刻工藝，如光刻圖樣和高精度叠加對準。由於它具有高速度、高精度的特點，它還能夠進行光學圖樣檢查、門和接觸孔圖樣的劃定、散射測量和掩模對準。NIKON NSR SF 120是一種堅固可靠的晶圓步進器,非常適合廣泛的生產需求。它能夠處理200 mm或300 mm晶片的最大4英寸負載,因此適合處理最困難的生產難題。此外,它還提供了先進的過程控制,提供了出色的點對點穩定性和生產率。在安全方面，NSR SF120擁有安全穩定的操作環境，安全特性廣泛。它配備了多約束時鐘工具和可靠的光束阻擋擋板護罩，以確保安全運行。此外,它的高級備用資產在閑置模式下可確保低功耗。總體而言,NSR-SF120是一種可靠而強大的半導體步進器,專為最苛刻的制造操作而設計。其三晶片陣列成像模型和先進的對齊算法導致高吞吐量和卓越的叠加精度。它還提供了廣泛的安全和過程控制功能,使其成為小型和大型芯片制造商的合適選擇。