二手 NIKON NSR SF120 #293628325 待售

NIKON NSR SF120晶片步進器是一種設計用於光掩模生產的高精度光刻機。這種晶片步進器使用多芯片投影光學器件和全自動對準器，以及各種其他組件，以前所未有的精度和穩定性提供光掩模生產。NIKON NSR-SF120在緊湊的空間內實現了高水平的圖像質量,使其非常適合後端過程,如接觸對齊、對齊和線條/空間陣列。NSR SF 120利用極精確的單列4場對準設備結合開環Galvo-mirror。這提供了比其他可用的光掩模生產系統更精確的對齊和更高的成幀精度,同時還具有更高的可配置性和更易於操作。NSR SF120還具有幹燥晶片級,使其不需要濕態生產環境。NIKON NSR SF 120中包含的高精度投影光學器件提供了2.0-3.0微米的成像和光刻精度。除了系統提供的更廣闊的視野外,這NSR-SF120非常適合生產具有挑戰性的形狀和幾何形狀的高級光掩模和半導體圖樣。該設備還具有高達1m/s的驚人掃描速率，適合大批量生產。NIKON NSR SF120還擁有集成的自動對焦單元,提供出色的深度聚焦（DOF）。這使得機器能夠在晶片掃描過程中自動調整焦點設置，確保在每種情況下都能達到最高的圖像質量。此外,NIKON NSR-SF120還具有快速自動批處理對齊功能,能夠準確、快速地將目標模式置於所需坐標上,同時消除四舍五入誤差。NSR SF 120具有快速機器人晶片交換（REX）工具,可自動交換晶片和剝離板,從而提高吞吐量並降低人工成本。它還包括一個先進的檢查和校準資產，使精確的圖表和重復目標模式比以往任何時候都容易。此外，其先進的軟件包括精確的三維軟件模擬器，以可靠和高效的方式提供虛擬光刻和輪廓對齊。總而言之,NSR SF120是一種非常精確、通用且可靠的晶片步進器,非常適合生產高精度光掩模。NIKON NSR SF 120以其最先進的光學器件、自動工藝流程和批次對準器、快速晶圓交換以及精確的晶圓級和檢測系統,提供了目前可用的最高水平的圖像質量、吞吐量和穩定性。