二手 NIKON NSR SF120 #293757652 待售

NIKON NSR SF120是為先進的半導體光刻工藝設計的晶圓步進器。這種高性能步進器提供了廣闊的設備區域、快速的掃描速度和優越的光學器件，以提高吞吐量和產量。NIKON NSR-SF120配備了先進的、完全集成的系統區，專為區域高效生產而設計。該設備區域的設計目的是幫助實現高精度和高機效率的最大吞吐量,從而縮短周期時間。此外,該工具還具有最先進的計量功能,可實現最佳的過程控制和優化。NSR SF 120配備了先進的光學器件，以提供改進的晶圓均勻性和準確性。光學器件結合了10X放大倍率、109mm的影像圓和一個有規律小於1%的照明場高度。光學元件還具有較小的193 nm波長和0.63的數值孔徑（NA）,可實現超高分辨率成像。NSR SF120具有高達80mm/sec的掃描速度,允許快速成像而不犧牲精度。這種高速成像有助於實現高吞吐量和提高工作效率。此外，該資產支持0.5um至10.9um的多種分辨率模式。為了進一步提高生產率,NSR-SF120還提供了一種晶圓對齊模型,該模型旨在自動糾正任何錯誤的對齊,而無需手動幹預。此外，NIKON NSR SF 120設計具有現場驗證的檢測和維修能力，如電子束缺陷檢測設備和真空掃描電子顯微鏡（SEM）。這些系統旨在確保準確的模式形成和缺陷修復,最終有助於提高產量。NIKON NSR SF120是一種可靠且先進的晶圓步進器,具有一系列功能,可提高性能、吞吐量和產量。該系統提供高速成像、先進的光學、全面的檢查和維修能力，以及旨在提高機器效率的最先進的單元區域。