二手 NIKON NSR SF120 #293817934 待售

NIKON NSR SF120 Wafer Stepper是一種全自動機器,旨在以最高的速度以最高的生產力提供高精度的陣列。這臺機器具有6英寸或8英寸的晶圓尺寸,最大磁場尺寸為400mm x 400mm,高分辨率為0.059 μ m。適合於各種圖樣化技術和應用，如反應性離子蝕刻、離子植入、幹蝕刻等。NIKON NSR-SF120利用獨特的設計特性最大限度地提高效率和準確性。NSR SF 120註重多功能性和速度,提供多階段自動對焦功能,可提供高精度,以適應現代自對齊多陣列（SAMP）過程的復雜性。此功能還通過減少焦點時間和提供以前的技術無法實現的廣泛可重復性來提高吞吐量。NSR-SF120還具有高加速度和減速的脈沖掃描儀。此功能允許高速圖像掃描,有助於提高吞吐量並降低可實現的分辨率。NIKON NSR SF 120的掃描截面高達6.5nm,充分準備了滿足即使是最先進的鑄造工藝的需求。NSR獨特的照明光學元件SF120使其成為處理拓撲結構不統一的晶片的理想選擇。可變邊緣流浪光照明系統（VESLI）使優化的光學分布能夠適應不斷變化的晶圓拓撲，同時提供更好的光敏度和對比度。這可以提高陣列精度的質量,同時仍能提供高生產率的操作。為了最大限度地提高NIKON NSR SF120的工藝效率,提供了一個多光路選項,允許同時對兩個或多個晶圓進行高速成像。這樣可以減少晶圓交換和映像驗證任務所需的時間,從而提高流程吞吐量。NIKON NSR-SF120是一種高度復雜但易於使用的機器,具有要求最苛刻的過程所需的特性和性能。它是一個可靠而強大的工具，能夠為各種高級圖樣應用提供最佳效果，包括離子植入和掩模級光刻。