二手 NIKON NSR SF120 #9243871 待售

NIKON NSR SF120是用於生產半導體元件的下一代晶圓步進器。它是一種先進的光學光刻工具,旨在提供卓越的吞吐量和增強的成像能力。該設備配備了高端光學器件和精確輪廓掃描頭，使其能夠在廣泛的生產環境中在晶片上傳送設備圖樣的高分辨率圖像。NIKON NSR-SF120允許對高級特征（如Duple Patterning （DP）和2D/3D結構）進行精確、靈活的陣列設計,並具有最大的透明度。它支持多種曝光技術，包括單波長曝光（SWE）、多波長曝光（MWE）和多級曝光（MLE）。該系統還可以容納雙波長曝光模式，允許用戶在廣域內改變每個波長的曝光參數。NSR SF 120能夠提供精確和可重復的對齊、覆蓋重復性、高分辨率成像和減少陣列損壞。這個先進的單元還可以容納不同的晶圓大小，從4「到12」。NIKON NSR SF 120也極為可靠高效。它旨在減少工藝步驟的數量，並從每個晶片中提取最大吞吐量。其強大的電機可實現高速、精確的掃描,其專用控制單元與優化的曝光控制單元配合使用,以確保畫面的精確度。NSR SF120還設計了高端通風系統，以保持低溫，確保生產過程順利進行。它還配備了先進的警報和自我監測系統，可立即提醒人員註意任何違規行為。最後，NSR-SF120具有玻璃自動對準和聚焦檢測等特點，進一步提高了精度和精度。總體而言,NIKON NSR SF120是一種高度先進的晶圓步進器,旨在提供卓越的成像能力和最大吞吐量。利用各種曝光技術和先進的電機工具，它可以實現更高的精度和可重復性，以及可靠的操作。