二手 NIKON NSR SF120 #9247819 待售

NIKON NSR SF120是一種設計用於集成電路制造的超高精度全場晶片步進設備。它設計用於制造精密度為1.2微米（100-KeV）的電路元件。該系統采用NIKON系列光刻系統通用的遠心照明方案，在拋光晶片的整個表面上提供半色調圖案的投影。NIKON NSR-SF120單元的設計使晶片的高吞吐量處理具有單一曝光機，吞吐量為每小時250晶片。該工具由具有線性光學場的高性能運動資產、高精度成像透鏡、高效光源和模型控制器組成。晶片級設計為提供精確、可重復的拋光晶片運動，這對於實現高通量至關重要。晶片級包括無摩擦直線電動機，能夠在X軸和Y軸上精確定位晶片。NSR SF 120設備中的成像透鏡針對小於1.2微米的成像元件進行了優化。成像系統的關鍵組件是偏離軸和非對稱偏離軸拋物面反射鏡,可最大程度地減少成像單元中的像差。光源是波長為248nm的KrF準分子激光器，為拋光晶片上的小結構成像提供了優越的性能。機器控制器提供對成像光學器件以及晶圓運動工具的精確控制。可以為NSR SF120資產配置其他選項,從而進一步提高其性能。其中包括用於極小結構成像的高分辨率光學器件，以及用於處理大型晶片尺寸的專用晶片級。該模型還提供了一個可調清潔設備，進一步提高其精度和提高過程周轉時間。綜上所述，NIKON NSR SF 120晶圓步進系統是為超高精度集成電路制造而設計的。它具有先進的光學和晶圓運動系統，以及提供必要光源的KrF準分子激光器。此外,客戶還可以為其系統配置其他選項,以進一步提高性能。