二手 NIKON NSR SF120 #9251800 待售

NIKON NSR SF120是一種高性能、高精度和高度可靠的晶圓步進器。它專為生產和開發而設計,可用於各種應用,如微加工、光刻和光學圖樣。配備單級步進設備的NIKON NSR-SF120提供卓越的對準精度、高吞吐量和廣泛的曝光選項。NSR SF 120提供了一個晶片級，能夠支撐直徑達6英寸的晶片。晶圓級具有外框，具有剛性鋁結構和高精度差分空氣軸承級。其設計允許在XY和Z軸上進行精確的舞臺運動，使其能夠提供高達5晶圓/秒的最大吞吐量，並實現高水平的對準精度（± 0.5 µm）。該階段還配備了全自動對準系統。NSR SF120配備了300 mm鏡頭罐，針對各種NIKON光學進行了優化，提供了廣泛的視野和數值光圈。該裝置還配備了一臺功能齊全的高精度對準機器，可靈活準確地定位光學元件。150W汞燈提供了廣泛的曝光能量，根據應用情況允許了廣泛的曝光設置。鹵素光源的短波長使NIKON NSR SF 120能夠達到1 µm的分辨率。NSR-SF120提供了一個全面的控制界面，允許工具自動化和易於集成到生產環境中。其用戶友好的觸摸屏界面允許一個設置資產和調整參數在任何時間。此外，NIKON NSR SF120遵守相關安全條例，並提供方便用戶使用的安全模型，使設備的運行安全高效。因此，NIKON NSR-SF120是實現高效、精確晶圓曝光的理想選擇。