二手 NIKON NSR SF120 #9310946 待售
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ID: 9310946
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
i-Line stepper, 12"
SMIF Type: OHT
WL In-line (FOUP: Front In-line)
Signal tower: (3) Colors
Right and left chamber
Temperature controller
Lamp cooling unit
Back side frame
(2) Lamp houses / Loader rails
Top chamber
Control panel
(3) Boxes
Automation online component: SECE
Aperture INA: 0.45
Focus system: Multi focus
Leveling system: Table
Main body:
Magnification: 1/4 Reduction
Light source: 365 nm
Resolution: 0.28 µm
Variable lens: 0.50 to 0.62 nA
Exposure filed size: 25 x 33 mm
Lens adjustment:
(5) PIEZO: 3 Axis
Lens cloudiness: Lemon skin filter
PC System hardware:
Type: DS10
Y2K Completion
No UPS system
Reticle size, 6"
Variable reticle microscope
Alignment sensor:
LSA
FIA
AIS
No LIA
Illumination interferometer system:
Mercury ARC lamp: 5 kW
Wafer stage
Reticle stage
Wafer loader, 12"
Type 3
Port number: 1
Notch type
Hold type: Ping type
Cassette
Front in-line (EFEM)
Pre-align type: NC PRE2
No edge exposure
Reticle loader:
SMIF Type (OHT)
Library / Slot: (2) Indexes
Barder reader
Particle checker: PPD2
Library: Center
Control rack:
Type: Right
Cable length: Normal
s52 Chamber:
Type: Sendai chamber
Single
BATC / CATC / LLTC: 23°
Power supply: 208 V, 60 Hz, 3 Phase
Missing parts:
(4) ALG-AF Control PCB
FIA-AF Control PCB
2003 vintage.
NIKON NSR SF120是一種晶圓步進器,專為制造小型高分辨率設備的高級光掩模而設計。它用於納米成像，能夠創建具有較少抗蝕性、缺陷水平和高吞吐量的高質量光掩模。NIKON NSR-SF120具有步進光學設備（SOS）,具有4英寸（100毫米）掩模場大小,可用於適用於單層至5層掩模的高分辨率成像。光學器件還包括6軸對準,精度為0.1 um,分辨率為0.02 um,用於納米級成像。此外，晶片步進器還具有一個對準系統，該系統利用一個1.4百萬像素分辨率CCD攝像機進行自動晶片運動檢測，以及一個三軸振動檢測單元，該單元可以檢測來自環境的低水平振動，以提高光學穩定性。晶圓步進器還包括利用最先進的計算算法進行高吞吐量優化的完全過程控制機（CPCS）。CPCS允許用戶實時監控和調整曝光過程，以獲得最佳的掩模制造。此外,NSR SF 120還包括一個AVI （AutoVision Interface, AutoVision Interface, AutoVision Interface, AutoVision Interface, AutoVision intAVI通過先進的光學地形和幾何測量技術提供了改進的模式傳輸精度和自動化。晶片步進器還提供了擴展的PC控制晶片操作界面，允許用戶快速設置、檢查或調整晶片位置。在可靠性方面,NIKON NSR SF 120以其先進的冷卻資產以及堅固的機械和環境保護功能而設計,具有很高的彈性和耐用性。晶圓步進器也由於其自動化的晶圓對準和交換特性，允許用戶在不同的基板之間輕松切換。步進器的快速晶片加載時間為60秒,4英寸（100毫米）掩模場大小的處理時間為90秒。最後,NSR-SF120配備了用戶友好的維護功能和可定制的操作按鈕,以實現最佳性能。
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