二手 NIKON NSR SF120 #9351366 待售

NIKON NSR SF120是一臺適合標準200 mm晶圓生產階段的晶圓步進機。NIKON NSR-SF120專為高端半導體生產而設計,以經濟實惠的價格提供卓越的性能和高級功能。NSR SF 120采用4軸設計,具有X、Y、θ和Z軸級,可在對準和曝光過程中移動晶片。NSR SF 120的高動態響應和高精度編碼器有助於提高工藝精度，其擴展的X軸範圍使得處理多達16個8英寸晶圓成為可能。NSR-SF120具有10倍、E場 NA2.4光學透鏡,以及先進的對準設備,可提供更快的對準,而不會犧牲精度。NIKON NSR SF 120還包括一個先進的低噪聲執行器，以減少振動和確保優越的過程穩定性。先進的對準系統自動調整鏡頭焦點，減少散光。NIKON NSR SF120還提供自動亮度控制、自動晶圓負載對準以及先進的塗層和薄膜自動化。憑借其先進的可編程處理，NIKON NSR-SF120可以實現廣泛生產步驟和工藝的自動化，包括晶片加載和塗層、晶片邊緣曝光、光掩模插入、對準、曝光等工藝。NSR SF 120甚至允許模式識別功能，以節省時間和提高準確性。此外,NSR SF120還包括一個高級晶圓處理單元。自動化裝卸機利用空氣承載技術，將晶片直接從對準步驟輸送到下一步，從而實現更快的處理周期。由於它能夠處理多達16個8英寸晶圓,這種自動化工具減少了停機時間並提高了吞吐量。NSR-SF120的長壽命電機和控制器還提供卓越的性能和提高的速度。NIKON NSR SF 120以其靈活的架構和先進的特性，是高端生產半導體晶片的理想選擇。其最大數據吞吐量速率高達150kHz,而遊戲速度可高達68kHz。NIKON NSR SF 120的標準功能還包括多個MTF和其他圖像處理功能。晶圓步進器還提供自動掛起功能，當檢測到弱光條件時可以掛起處理，確保優異的效果。