二手 NIKON NSR SF130 #293603896 待售
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ID: 293603896
i-Line stepper
EFEM
Projection lens
Illumination unit
Interferometer laser (Wafer stage)
Interferometer laser (Reticle stage)
Control rack
Temperature unit
Operation unit
Pneumatic control box
RL-LIB10MP Board
6-Axis vibration measurement unit
Wafer holder
Chemical filter
Wafer reticle
Lamp house cool unit
Power supply box
Illumination power uniformity:
Power: 619.474 mw / cm²
Uniformity: 2.229%
Stepping accuracy step:
X: 10
Y: 13
Stepping accuracy back:
X: 9
Y: 11
Inclination:
TFD: 0.068
AS: 0.029.
NIKON NSR SF130是一種深紫外線（DUV）晶圓步進器，具有高分辨率透鏡和可調照明水平，非常適合先進的光刻工藝和應用。該設備能夠實現極高的分辨率,可降低到13 nm的功能尺寸。這種分辨率水平對於高級處理器節點光刻以及半導體行業的其他高級應用來說往往是必需的。NIKON NSR-SF130步進器具有許多旨在提高性能的功能。它配備了NIKON Enhanced OSA，可以自動檢測晶圓表面的特征，幫助優化曝光設置。該系統還具有一個弧形窗口,用於補償晶圓在曝光時運動過程中可能發生的位置錯誤。此外,NSR SF 130還具有四端口光學掃描模塊,以方便多光束掃描功能。在分辨率方面，NSR-SF130能夠通過其先進的兩相四相鏡頭單元產生13 nm圖像。它還能在面積上產生高達300 x 400毫米的暴露場，以每小時高達480晶圓的速度產生。因此，該機器提供了多種選項，以適應各種具有挑戰性的平版印刷應用。NSR SF130也是高度可配置的，有大量的曝光波長、照明水平、曝光場和可編程晶圓傳輸系統選擇。它利用高分辨率CCD成像工具,可以快速提供曝光反饋,使資產能夠實時進行必要的調整。最後,NIKON NSR SF 130機型的設計非常用戶友好,圖形簡單,操作簡單易用。直觀的界面可用於輸入數據、調整曝光設置、查看曝光結果。該設備還配備了多項高級軟件功能，如曝光監控、缺陷審查和過程映射。所有這些功能都是為了簡化光刻工藝並使操作員更容易保持效率和準確性。
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