二手 NIKON NSR SF130 #293630223 待售

NIKON NSR SF130是一種專門的晶圓步進器，用於生產高性能集成電路和其他微電子元件的光刻加工。利用可變形狀光束（VSB）和選擇性聚焦/非選擇性照明（SFI/NSI）等先進、先進的掃描方法，最大限度地提高曝光後分辨率，提高模式保真度，確保模式傳遞準確。NIKON NSR-SF130利用了一個可編程的掃描階段，這使得光刻面罩和基板的移動和定位具有顯著的靈活性，而紫外線激光則以極高的精度將面罩圖樣跟蹤到基板上。此掃描級能夠處理高達8英寸的晶片,定位精度（X、Y和θ為0.05 μ m。在0.1 μ m時掃描的重復性也非常好。步進器還配備了精確控制激光功率和曝光時間的高精度劑量控制設備，以及保持基板平坦性和平行性的真空卡盤系統。此外,NSR SF 130還具有一個閉環調節器單元,可確保減少掩模熱膨脹引起的像差,從而確保高分辨率打印。除了令人印象深刻的準確性和性能外,NSR SF130還具有很高的效率。它內置的高精度晶圓對準機可以縮短設置時間並提高生產率,其優化的聚焦控制工具也是如此,該工具在整個曝光過程中監視和調整晶圓的位置。此外，其熱擴散激光密封模塊顯著降低了資產中的熱輻射，從而提高了整體模型穩定性。總體而言,NSR-SF130是一款非常先進且功能強大的晶圓步進器,能夠以最高的精度和速度提供高分辨率打印。NIKON NSR SF 130憑借其集成的劑量控制設備、高精度的掃描級、晶圓對準系統和優化的焦點控制單元，非常適合安全快速地生產集成電路和其他質量最高的微電子元件。