二手 NIKON NSR SF130 #293655222 待售
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NIKON SF130是半導體晶圓制造中使用的中程晶圓步進器。它是一種廣受贊譽的生產設備，廣泛應用於芯片生產、光掩模生產和先進的設備包裝。NIKON SF 130的標準掃描場尺寸為5.9英寸（150）毫米，或以4.95微米的步長測量。它在整個掃描字段中提供高均勻性的曝光字段大小、平整度和分辨率。它具有25毫米的失真校正和10毫米的自動對焦能力，允許對晶片進行高度精確和可靠的光學掃描。SF130是具有高速Linac的步進掃描系統。它的來源是波長為532 nm的k （Kr）離子激光器。激光的功率範圍很廣,可掃描100 um/Sec或20 X/s。它配備了28.5kV電源，可以實現高精度和高分辨率成像。此外,它還配備了超精確幹涉自動對焦系統,使步進器能夠同時精確聚焦到每個單獨的層上。除了其標準特性外，SF 130還結合了具有4X3X3M分辨率和寬視野的高能力光源，用於一致的光輸出。此外,它還能夠為ArF光刻提供各種180 nm DUV選項,以及用於高級設備封裝的I-line功能。此外,系統具有出色的5個周期/小時吞吐量,在單個作業中可運行高達200個劑量水平。綜上所述，NIKON SF130是一種高度可靠、能幹的晶圓步進器，廣泛應用於芯片生產、光掩模生產和先進的設備封裝。它提供了5.9英寸的最大掃描場大小、25毫米的失真校正、10毫米的自動對焦功能、k離子激光器、28.5kV電源、4X3X3M分辨率和廣闊的視野。它還能夠提供各種180 nm DUV選項,並且具有令人印象深刻的5個周期/小時吞吐量。
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