二手 NIKON NSR SF130 #9191890 待售
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單擊可縮放
ID: 9191890
晶圓大小: 8"
優質的: 2005
i-Line stepper, 8"
Main computer:
System: DS10
Hard disk: DKA0, DKA100
Disk drive: CD ROM, Floppy disk
Illumination type: RET (Resolution enhancement technology)
Conv: σ = 0.7
2/3Wheel band: σ = 0.8
Small σ: σ = 0.4
1/2 Wheel band
IN σ: (SF100 Interchangeable, small σ)
Reticle microscope: Movable
Wafer alignment: FIA, LSA
Auto focus: Normal
Wafer loader: OF
Type 3 robot
Cassette
Control rack position: Right (Body and one body type)
Reticle loader: 6" Normal
PPD
Bar code reader
Control temperature
Chamber type
Unit version:
OPD: A1v1.50
Wafer loader: 62V5.20
Reticle loader: 20V2.00
Wafer stage: ST10PV1.40
Wafer alignment: 83V5.10
Reticle alignment: 83V5.10
Lens controller: 10V0507
PI
Power: 5.0 kW
Currently warehoused
2005 vintage.
NIKON NSR SF130是受電子行業歡迎的高性能晶圓步進器。它具有NSR-S301A的掃描儀鏡面和一個ringfield類型的光學器件，使機器能夠以較低的成本產生卓越的質量圖像和卓越的性能。NSR-S301A鏡由Dual AXIS Stochastic Scanner驅動,使設備高效且響應靈敏。該機還具有較高的數值光圈系統，允許在步進器上使用更多的鏡頭而不犧牲成像能力。此單元可產生出色的3D圖像和精細的分辨率。NIKON NSR-SF130具有超高精度主軸、符合人體工程學的設計和業界領先的用戶界面。主軸具有40微米寬的納米焦點，可產生0.09微米的圖像分辨率。利用機器的高精度對準技術，用戶可以輕松準確地調整步進器的位置，快速改變曝光設置。該工具采用了符合人體工程學的設計，采用了最新的現代技術，以確保資產能夠承受長時間的工作時間，並在惡劣的條件下保持可靠。NSR SF 130的用戶界面極其用戶友好和直觀。Hyper Smart Exposure （HSE）是一項獨特的功能,使用戶可以輕松地為其應用程序選擇最佳曝光。步進器還具有自動對焦功能,可快速找到對焦場的最佳位置,以及脈沖相位調制功能,從而加快曝光時間並提高圖像質量。此外,該模型還允許圖像旋轉、圖像補償和圖像捆綁。總體而言,NSR SF130是一種出色的晶圓步進器,可產生卓越的3D圖像和出色的分辨率。它具有符合人體工程學的設計和直觀的用戶界面，便於使用。利用高精度主軸,可以保持較低的曝光時間,同時確保卓越的圖像質量。通過自動聚焦和脈沖相位調制，用戶對其應用有了很大的控制。憑借所有這些功能,NIKON NSR SF 130成為任何電子行業的最佳工具。
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