二手 NIKON NSR SF130 #9222618 待售

NIKON NSR SF130是一種精密的晶片步進器工具,旨在提供精確的晶片處理能力。這種復雜的步進器支持各種關鍵功能，包括焦點對齊、叠加對齊和曝光曝光。NIKON NSR-SF130采用步進技術,為各種晶圓處理應用程序提供卓越的精度和可重復性。曝光控制和聚焦的精確度是通過自動轉向2軸級實現的，該級能夠將晶片精確定位到所需位置的納米範圍內。內置對準設備利用模式識別結構精確對準晶圓的陣列區域，即使曝光目標放置得非常接近。由於其先進的曝光系統,SF130能夠實現較高的吞吐量。曝光單元具有兩個獨立的源,確保整個晶片均勻曝光。這臺多源機器支持多種波長和照明類型，包括時間共享、多束、單耦合器和四CMOS曝光技術。同時具有雙重曝光能力,使輸出時間增加了一半,從而進一步增強了曝光工具。NSR SF 130晶片步進器還具有集成的依賴於XY的Auto-Focus資產,可提供非常精細的聚焦控制。Auto-Focus模型使用一種專有算法,它結合了基於邊緣檢測和梯度的技術來自動確定最佳曝光焦點。該設備還包括一個創新的主動散焦控制,它進一步優化了自動聚焦性能,並補償了與所需曝光焦點的輕微偏移。NIKON NSR SF 130是一種尖端晶片步進工具,可提供卓越的精度、重復性和吞吐量,用於晶片處理。該工具為半導體光刻應用提供了一個功能強大且可靠的解決方案，需要高精度和重復性。通用的曝光系統、集成的自動對焦單元和先進的對齊能力使SF130成為要求苛刻的流程的優越選擇。