二手 NIKON NSR SF130 #9237550 待售

NIKON NSR SF130是一種多場、高精度的模模（D2D）步進器，用於對厚晶圓和平板顯示器進行高級評審。NIKON NSR-SF130具有先進的12 mag和15 mag雙多場透鏡,因此可提供高要求光刻應用的卓越成像性能。此設備能夠在75 mm x 75 mm成像區域內的任何點上顯示單個陣列場,並且可以在2秒內在兩個設置場之間切換。通過選擇高速步進和掃描模式，這種步進器每小時可放置3至6個晶片，並可支持8英寸或12英寸晶片尺寸，減少面積為1/3。該系統具有與線性編碼器的精細對準精度、聚焦和即時前向後掃描控制能力。它還有一個自動化的對齊單元，以確保更好的叠加對齊精度和減少錯位風險。這臺機器還采用了直線電機的高精度級和溫度控制環境，以提高成像精度。NSR SF 130有一個真空卡盤和固定裝置，用於防止基板打滑，使其能夠精確地從晶圓周圍暴露和轉移光掩模。該工具還可以使用化學放大和熱氧化物等各種類型的光刻膠，防止晶圓在轉移過程中受到汙染。NIKON NSR SF 130有幾個強健的安全功能到位，如緊急停止按鈕和一鍵式重置、自動恢復功能和自動關機功能。此資產使用低維護、易於操作的控制模型,該模型允許快速啟動、簡單維護,並減少由於輸入跟蹤而導致的停機時間。NSR-SF130結合先進的光學和創新的設計，以提供最大的過程控制和高效的晶圓處理設備。這種步進器利用了綜合對準和漏光檢測等先進功能，並通過其嚴密的精度水平和單晶片曝光能力實現了高產量。NSR SF130目前是其領域的領導者，並在包括半導體和平板顯示器制造、生命科學研究以及其他精密成像領域等多個領域得到應用。