二手 NIKON NSR SF130 #9243127 待售

NIKON NSR SF130 Wafer Stepper是一款高精度、超高速光刻設備，具有廣泛半導體器件制造加工應用的性能能力。該系統能夠在廣泛的動態範圍內提供低於50 nm的分辨率,從而能夠以優化的工藝成本生產高性能、高密度的設備。它在陣列晶片上提供了最高質量的成像,具有提高產量和設備性能所需的吞吐量和生產率。NIKON NSR-SF130具有很高的吞吐量,單材料每小時最多5,000晶圓,多材料每小時最多8,000晶圓。它還提供高速ND對準和曝光，同時能夠執行多個晶圓對準。該單元采用高速數據采集來調整曝光設置和工藝優化設置，實時優化生產性能。NIST量子偏轉多子場算法（QDMSA）實現了優化的成像性能,而AutoMatch成像技術減少了對準時間並提供了高精度晶片縫合。步進器具有靈活結構化技術,它提供可變的線寬功能,並支持懸垂和各種線角的工作,以精確定位陣列,即使在困難的3D區域也是如此。該機還具有超高分辨率NGREELEX,可消除線緣粗糙度,並能夠生產高性能、超精細的設備。NSR SF 130為長期生產運行提供了卓越、穩定的生產性能,並為長期連續運行建造了防汙染結構。它提供數字伺服控制,快速、精確的對準和曝光與最小的振動.該工具還配備了NIKON Smart Chip技術，用於集成操作和監測基於模式的性能，包括焦點、劑量和曝光設置。NSR SF130資產非常適合用於半導體大批量生產線,並通過創新解決方案提供卓越的性能,以滿足開發半導體器件日益增長的需求和復雜性。