二手 NIKON NSR SF130 #9244051 待售

製造商
NIKON
模型
NSR SF130
ID: 9244051
i-Line stepper.
NIKON NSR SF130是一種高性能晶圓步進器,用於半導體光刻。它是大批量生產半導體器件的理想選擇,因為它可以持續運行一段時間。步進器使用分辨率為0.6至5.6微米的Numeric Condenser (NC)鏡頭操作。其可重復精度為+/-4nm,線性速度精度為+/-0.004mm。它還具有平穩、無滯後的驅動設備,以保持高吞吐量應用中的準確性。NIKON NSR-SF130采用擺臂對準法設計,采用上下頭系統。這提供了穩定性,同時減少任何可能由擺動和振動引起的機械應力。工藝的每一個階段都用激光束控制,保證了高精度。步進器還具有NIKON CMOS傳感器和高級數據處理單元。這使得它能夠提供曝光數據的實時反饋和完整的晶圓分析。機器還能夠自動聚焦,這有助於確保圖像清晰清晰。步進器還配備了NIKON Dimsite Management Software。這為用戶提供了用於管理計算機設置的直觀界面以及一致結果的配方。此外,該工具還提供文件存儲和編輯功能。NSR SF 130具有被動冷卻資產,可進一步提高性能。此外,還有一個自我調節的電池板,它有助於確保高水平的穩定性和準確性。步進器還具有各種其他產品,如自動照明模型和各種對準傳感器。總體而言,NSR SF130是大批量生產半導體的絕佳晶圓步進器。它具有多種功能,有助於確保生產過程的準確性和可靠性,其直觀的軟件使機器易於操作。
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