二手 NIKON NSR SF130 #9247821 待售

NIKON NSR SF130是一種用於生產半導體器件的高精度晶圓步進器。其高精度的對齊和分辨率功能最大程度地提高了工藝產量,同時提供了卓越的產品質量和較低的擁有成本。NIKON NSR-SF130是NIKON NEXACT系列晶片步進器的重要組成部分，用於生產一系列電子元件，包括有源電子元件、薄膜晶體管、CIS、RESIST和CCD區域。NSR SF 130最大分辨率為0.9 nm，允許極精確的設備對準和處理。這也允許高吞吐率，使得機器非常適合大規模生產。該機的機動化級具有高達400 mm/s的直線速度和150 mm/s的峰值加速度,定位精度為0.25 μ m。這樣可以確保微型設備在工件上的快速準確定位。此外,該機采用高精度聚合物軸承級（PBS）,確保晶片處理平穩可靠,具有優異的減振特性,能夠對晶片對準進行卓越的控制。先進的光學器件還提供了卓越的圖像質量和高水平的可重復性。AFAS（Advanced Focus Algorithm System）將焦點設定調整到預定的水平，並根據所需的畫面進行調整，有助於減少焦點調整時間。NIKON NSR SF 130還有一個潔凈室兼容的覆蓋物，使得機器適合於高精度和無汙染的加工和激光處理。此外,該機器還包括晶圓對準傳感器和集成掃描處理,使其能夠直接集成到生產線中。此外,該機器還包括梁對梁冗余和亞微米對準功能,從而提高了產量。總體而言，NSR-SF130是一種高度精確和可靠的晶圓步進器，能夠產生高吞吐量的優越設備質量。其高分辨率的對齊和分辨率功能確保了易用性和快速的設置時間,而其減振特性和集成掃描功能進一步增強了其功能,使其成為任何半導體生產設施中的一個寶貴且重要的補充。