二手 NIKON NSR SF130 #9311380 待售

NIKON NSR SF130 Wafer Stepper是為支持半導體生產而設計的先進光刻設備。該系統提供了一個先進的光學成像單元，利用精密級運動在半導體晶片上創建高分辨率特征。NIKON NSR-SF130是一臺6英寸光刻機，采用先進的成像工具設計，具有縮放投影鏡頭，NA為0.25，高數值光圈鏡頭高達0.6。資產使用動態階段模塊來支持高達1mm的大型階段移動。這使得模型能夠在整個廣泛的運動範圍內保持焦點。通過內置高精度激光幹涉儀實現圖像平面、狹縫和聚焦檢測，從而實現晶圓定位和光刻。該設備提供了一個標準的pellicle loader and masking system,以確保在處理和修飾口罩時特定於任務的準確性。NSR SF 130由高級控制單元提供動力,該單元具有直觀的NC計算機單元,具有高級智能和集成的NC應用程序。機器包括自動對齊和自動對焦功能，允許精確的圖樣和準確的配準。此外,該工具還支持自動更正幀以實現更好的掩碼定位。該資產支持包括0.5-8um、深紫外線、深X射線、可見和各種先進技術在內的多種曝光技術。分辨率範圍為0.1um或更高，最大晶圓尺寸為6英寸允許快速生產。此外，該模型還提供了先進的工藝匹配，以確保在每個階段都有一致的光刻模式。NSR-SF130晶圓步進器為半導體生產提供了可靠、高效的基礎。其先進的成像設備和精確的控制為用戶提供高分辨率的光刻，具有卓越的精度和速度。其多重曝光技術和對各種先進光刻技術的支持，使其成為中高容量半導體生產設施的理想選擇。