二手 NIKON NSR SF130 #9383073 待售

NIKON NSR SF130
製造商
NIKON
模型
NSR SF130
ID: 9383073
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
i-Line stepper, 12" 2005 vintage.
NIKON NSR SF130是一種可靠、用途廣泛的晶圓步進器,已成為半導體制造專業人士的熱門選擇。這種單場掃描晶片步進器能夠在直徑達6英寸的晶片上制作高精度和高分辨率的微光刻圖樣。它采用集成的NIKON NSR光學系統,采用離軸照明設計,並采用一步折反射物鏡,可確保高性能和消除失真。該系統具有較大的工作面積,允許處理更大的基板,並且可以容納多達八盒具有完美對齊的晶片。NIKON NSR-SF130配備了最先進的組件,確保了微光刻工藝的準確性和可靠性。其集成的高速數值模式發生器精確、精確地控制晶圓定位的X、Y級,從而實現了較高的經濟性。其精確掃描速度高達20 μ米/秒,精度± 0.25 μ米。這臺機器允許更高的曝光時間,同時結合了快速的XY級和先進的運動控制。NSR SF 130具有直觀的圖形用戶界面,易於學習和使用。它使用戶能夠輕松控制和監視整個陣列制作過程。功能包括高分辨率成像和曝光模式的預覽。它還提供了可變選擇的針孔、自動對齊、可變聚焦位置和可變曝光時間,用於自定義陣列。NSR-SF130在設計和高級功能方面提供卓越的性能。它是用於微光刻應用的可靠、可靠和成本效益高的工具。它非常適合要求苛刻的工作,如小基板上的精密圖樣,以及一般用途,包括研究、原型制作和生產。NIKON NSR SF 130技術精密先進,是各種晶圓制造工藝的理想選擇。
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