二手 NIKON NSR SF130 #9389330 待售

NIKON NSR SF130是一種先進的全自動步驟和重復光刻設備,專為高吞吐量、高產量和可靠性能而設計。該SF130是一個專用的晶圓步進器，旨在將高分辨率圖樣傳遞到各種基板上，包括矽、石英、玻璃和陶瓷。SF130的最大基板面積為200 mm x 200 mm,場尺寸為13 mm x 13 mm,可容納各種晶圓尺寸和掩模尺寸。該系統具有自動聚焦和對準功能以及先進的透明度檢測單元。SF130的成像光學系統具有特殊的結構和高性能光學系統，能夠準確、精確地減少圖案布局。它還采用了NIKON Super Multi Layer Coating塗層的投影鏡頭，提供了出色的分辨率、對比度和激光的顯著精度。此外，曝光控制機采用高速ND濾波器，可實現平穩曝光均勻性和快速切換時間。該SF130采用自動維護工具,用於監控關鍵組件並在出現故障時發出警告,以實現最佳的正常運行時間和可靠性。資產還具有直觀的用戶界面,可以輕松定制以適應各種生產環境,包括半自動操作。它還具有大量可根據用戶需求定制的附加功能和選項。該模型可通過其各種通信端口和數據接口在各種應用程序中輕松集成。NIKON NSR-SF130配備了NIKON先進的晶圓配準設備，該設備采用了低失真光學圖樣感應頭和大量配準表。這使系統能夠跟蹤和糾正基板位置的任何變化。總而言之,NSR SF 130是一種先進的高性能晶片步進器,旨在為各種應用高效、準確和可靠地生產高質量的微光刻技術。該SF130具有可靠的光學、ND濾波器、自動維護單元、直觀的用戶界面和先進的註冊機器，是滿足任何光刻要求的高效解決方案。