二手 NIKON NSR SF130 #9391655 待售

NIKON NSR SF130是晶圓步進器，對於生產復雜的微電子器件如集成電路（IC）中的圖案化層至關重要。它由兩個主要元素組成：投影光學和舞臺。投影光學器件由安裝在精確線性級上的透鏡組成，負責將圖像投影到晶圓表面上。這種投影光學進一步位於X和Y方向移動的舞臺上。它還使用編碼器來測量舞臺的運動，並向控制設備提供反饋。NIKON NSR-SF130晶片步進器采用一流的功能來確保高分辨率和精確度。它擁有出色的投影光學透鏡系統,NA為0.97,可提供高清晰度和線性,有效分辨率為0.75 µm或更低。此外，該晶片步進器還具有一個用於投影透鏡和晶片的堅固保護單元，以及對流冷卻，以實現高通量和穩定通量。NSR SF 130還配備了雙射線場均勻校準機，以確保舞臺的投影圖像和照明點大小在所有位置上幾乎保持等效。此外，投影鏡頭附有一個定制的安裝穩定器，以消除像差，從而使晶圓表面的圖樣完美。這種晶片步進器提供了一種晶片對準工具，以實現高精度和高速度，這使得它非常適合成本敏感的生產環境。此外，其廣泛的曝光設置使得它與圖像發生器和一系列的光掩模兼容。最後，這種晶圓步進器具有一流的能力，以確保高吞吐量和精確的模式層集成電路，使其成為IC生產的領先者。