二手 NIKON NSR SF130 #9391948 待售

NIKON NSR SF130 Wafer Stepper是一種高性能、高精度的設備，用於半導體制造中的光刻圖樣生成。該系統是為晶片生產在8「、12」和更大的晶片上運行而設計的，用於晶片步進器應用，包括臨界層和蝕刻後對準。尼康NSR-SF130提供0.05微米（1/20,000英寸）的分辨率，可重復性為0.02微米，非正交精度為0.5度。它能夠掃描晶片,掃描速度高達450mm/秒。它是一個大直徑的單梁臺階和重復單元，具有自動機器對準功能。這意味著它可以移動一個晶圓，並在整個晶圓區域精確地再現特征。NSR SF 130晶圓步進器裝有投影鏡頭，使其能投影很小尺寸的影像。光源由CCD相機或半導體激光器提供，波長範圍為320nm至450nm。利用穩定的信號束，該工具能夠以最高的精度和精度產生納米級圖案。其先進的圖像感測技術確保了圖像的準確捕獲。資產能夠在子像素級別檢測圖像的偏移和缺陷,從而糾正任何失真。通過自動對焦模型進一步提高了加工精度，該模型用於調整光學器件以獲得最佳聚焦。NIKON NSR SF 130晶圓步進器還提供了多種圖像優化功能，使其用戶能夠有選擇地控制曝光水平和聚焦幅度。其先進的圖像配準設備評估晶圓的厚度和地形，從而實現精確的叠加。它配備了一個名為NIKON GMS-MOTION的數據自動化軟件包，簡化了模式匹配和吞吐量優化的過程。該系統使用戶可以靈活地創建模板、執行可重復的批處理作業以及在液晶顯示器上顯示信息。此外,NIKON SF130 Wafer Stepper與NIKON工作站集成,可以與外部軟件集成。NSR SF130 Wafer Stepper是高精度項目的優秀投資。其先進的成像能力、堅固的構造和自動化靈活性使其適合廣泛的晶圓制造過程。NSR-SF130具有高精度和重復性，非常適合半導體器件中關鍵層的開發，有助於提高產量和生產率。