二手 NIKON NSR SF140 #293589679 待售

NIKON NSR SF140是一種高性能晶圓步進器，主要用於制造半導體器件。它配備了高分辨率的掃描頭、先進的照明設備和專有的透鏡系統，使其成為在廣泛的材料和基板上進行高精度圖樣成像的理想工具。主體由用於高精度步進運動的雙級XYZ直線電機單元，以及用於快速、精確晶圓對準的XY卡盤夾具機組成。NIKON NSR-SF140具有6軸彎曲結構,可實現超高級加速度和最小化振動,提供穩定的成像過程。標準掃描頭配備了超高分辨率5軸級,可實現步長小至6nm的成像。此外，位於掃描頭上的CCD相機分辨率為2600萬像素，為晶圓圖像提供了無與倫比的精確度和細節。NSR SF 140還具有專門的照明工具,通過在整個成像領域提供均勻的BPI（每英寸亮度）來提高基板的通量。光學透鏡資產由多個串聯透鏡組成，NA為0.55，放大範圍為5X-100X，即使在高密度圖樣上也能提供出色的叠加精度。總體而言,NIKON NSR SF 140是一種高度先進的晶圓步進器,旨在提供出色的成像效果。通過結合革命性的掃描頭、精確取向的鏡頭模型和專門的照明設備,NSR-SF140提供了超高分辨率成像和頂級叠加精度的小巧、用戶友好的封裝。