二手 NIKON NSR SF140 #293630225 待售

NIKON NSR SF140是一個可變領域，光刻掃描儀具有廣泛的應用範圍，允許高吞吐量和成本效益。它是一種5軸晶圓步進器,旨在通過高度精確的運動、平地投射和新穎的成像光學技術相結合,從最具挑戰性的掩模布局中提供卓越的圖樣質量。無論特征大小、布局或視野如何,其智能照明控制（IIC）都保持恒定的曝光參數。該SF140提供寬視野和大掃描範圍兼容性,字段寬度可達1米和150 mm的字段高度。由於其自動對齊和掃描功能,SF140還提供了非常快的晶圓吞吐量和高吞吐量工具加載。它支持背面曝光和場的不均勻性，以進一步增加在一次掃描中執行的芯片面積。利用其載荷和計數指數（L&CI）進行晶片加載和處理,可以快速將不同的晶片重新加載到步進器上,從而縮短時間並提高吞吐量。該SF140還提供了出色的圖像均勻性，因為其先進的光學器件在其整個視場上提供了較高的聚焦深度和較低的失真。它還配備了先進的圖像處理算法，用於失真校準、像差校正和邊緣侵蝕補償。它的高分辨率成像和聚焦結構協同工作，具有可控的掃描間距和光學聚焦，允許極精細的圖樣和缺陷自由覆蓋，具有可重復的結果。基於SF 140的語音線圈馬達設計提供超快的加速度、高精度和無機械作用。它還允許同時進行多軸對準和掃描（卷焊）。由於其小光斑大小和快速的響應時間，它也非常適合於雙圖案技術。其他特性還包括一個反電子空間電荷機械手、反電子反射聚焦離子束和激光對準系統，這些都對晶圓曝光很重要。該SF140還有一個室內光束環境管理系統，即使在不太理想的環境中，也能提供穩定和低失真的成像條件。SF140的機器人晶片處理能力提供了多達50個晶片的快速、方便的處理，進一步提高了吞吐量。總體而言,NIKON NSR-SF140提供了精密運動、成像光學和高級軟件的出色組合,從而實現了高吞吐量、高級陣列功能和出色的覆蓋精度。