二手 NIKON NSR SF140 #9351392 待售

NIKON NSR SF140 Wafer Stepper是先進光刻的高精度工具。它是一種專為大批量生產半導體器件而設計的曝光設備,能夠生產功能尺寸不超過20海裏的IC。該系統配備了可變放大鏡頭單元及其專有的設備制造軟件包（SPDM）控制軟件，用於精確對準和對焦。NIKON NSR-SF140可以精確移動X軸和Y軸中的基板,並在必要時旋轉。它利用步進電機驅動一個90度轉角的石英玻璃步進階段，以精確定位IC的每一層。步進器還具有精確對準機，以確保最佳曝光條件。NSR SF 140能夠執行各種晶圓處理任務。它可以利用激光二極管或連續輻射暴露一層，也可以執行開發任務；對齊下一層相對於上一層；蝕刻和沈積材料；檢查和測試成品。NIKON NSR SF 140是一種高度精確的光刻工具,可以產生可重復的結果,這對於創建高質量的設備至關重要。它具有8英寸晶圓兼容性,旨在以高達每小時5,000晶圓的高生產吞吐量速率運行。NSR SF140采用高精度光學工具,具有0.005 μ m對準精度和0.1 μ m圖像可重復性。該資產還具有抗輻射性，並配備了提高產量的振動補償技術。其準確、快速的運行有助於確保最高質量和最低的生產成本。NSR-SF140還配備了先進的安全功能，壽命長，提供了最佳的正常運行時間。此外,它還配備了集成的診斷工具和損壞預防功能,從而提高了設備的產量。該型號還配備了級聯曝光架構，以提高對準精度和提高吞吐量。綜上所述，NIKON NSR SF140是一種高度先進和精確的晶圓步進設備。它配備了可變放大鏡頭系統和復雜的精度控制軟件以提供最佳性能，並且該單元能夠以高產和吞吐量執行各種任務。該機設備齊全，安全特性，壽命長，是先進光刻應用的理想選擇。